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μAオーダーの微小電流読取が可能なイオンポンプ専用高圧電源

HIPシリーズは、高真空度を保持するために不可欠となる高精度電流モニタを標(biāo)準(zhǔn)裝備したイオンポンプ専用高圧電源です。微小な電流値も電流モニタにて正確に読み取ってステータスを出力し、高真空度の保持をサポートします。

※ご要望に応じてカスタマイズも承ります。どうぞお?dú)葺Xにご相談下さい。

·  微小値まで読み取りが可能な電流モニタ

·  Hi、Loの2點(diǎn)設(shè)定で過電流を検出してステータスを出力

·  3.5kV、5kV、7.5kV出力の3タイプをラインナップ、イオンポンプに応じて選択可能

·  機(jī)能を厳選することでローコスト化を?qū)g現(xiàn)

·  ※1：無負(fù)荷時の値です。

·  ※2：出力短縮時の値です。